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美國MKS INSTRUMENTS電源
美國MKS INSTRUMENTS電源、測量、控制和復雜氣體相關的工藝監控技術等改進了設備的完好率和產品成品率，提高了生產產量和產品性能，美國MKS INSTRUMENTS目前產品主要包括：壓力測量和控制系列的電容薄膜壓力傳感器、模擬和數字壓力控制儀器和閥等提供半導體工藝上、下游壓力控制設備；質量流量控制器測量和控制半導體工藝中各種高純度、高精度氣體流量；射頻、直流及脈沖等離子電源、匹配器及測試工具為半導體工業提供了可靠的固態電源；STEXI系列產品提供諸如用于工藝腔清潔的ASTRON氟離子發生器，用于去膠工藝的R*EVOLUTION等離子源，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON氣態和LIQUOZON液態臭氧發生器。
代表型號：621,622A,623A,627B,629B,722A,722B,631C,628,690A,626A,626B,722A,722B,901,912,910,M10B,AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,
代表型號：621,622A,623A,627B,629B,722A,722B,631C,628,690A,626A,626B,722A,722B,901,912,910,M10B,AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,
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